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Mgドープ窒化物系III-V族化合物半導体結晶の成長方法 - …
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http://www.patentjp.com/10/L/L100051/DA10005.html
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Mgの有機化合物を単独で供給する方法のいずれかを採用することにより、Mgの有機化合物の熱分解を防止してホットウォール法でMgドープ窒化物系III ...
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